MEMSサーモパイルセンサー

サーモパイルをいたMEMSフローセンサの …

This flow sensor is fabricated utilizing surface micromachining technologies on a silicon substrate. The flow sensor has high sensitivity of flow velocities as high as /s. Polycrystalline silicon (poly-Si) film heater and poly-Si/Aluminum thermocouples are adopted on a dielectric thin film membrane thermally isolated from the substrate.

Get Price

Chat With WhatsApp

White Paper MEMS センサ - Omron

mems センサ (d6t)の memsセンサd6tシリーズは、のに、シリコンレンズ、memsサーモパイルセ ンサ、⽤アナログ、デジタルへの⽤ロジックまでをし、1つのコネクタの みでなモジュール ...

Get Price

Chat With WhatsApp

Professional gas sensing solution supplier with over 30-year gas sensor manufacturing experience Contact Us